0403電子応用 半導体の微細加工ダメージを診る~プラズマ加工による劣化を定量評価~ 2024-08-28 産業技術総合研究所ポイント 半導体素子の劣化を引き起こすダメージを太陽電池の測定手法を用いて定量評価 半導体素子内のシリコン周辺におけるプラズマダメージの形成要因を分類評価 半導体チップの素子性能と信頼性の向上に貢献プ... 2024-08-28 0403電子応用