半導体素子の微細加工ダメージ定量評価

2024-08-28 産業技術総合研究所 ポイント 半導体素子の劣化を引き起こすダメージを太陽電池の測定手法を用いて定量評価 半導体素子内のシリコン周辺におけるプラズマダメージの形成要因を分類評価 半導体チップの素子性能と信頼性の向上に貢献...