不揮発性メモリ素子絶縁破壊

不揮発性メモリ素子が壊れる瞬間を可視化～電子デバイスの新たな非破壊顕微解析手法を開発～

2023-10-24 東京大学発表のポイント◆大規模集積化が可能なメモリ素子の新材料HfO2系強誘電体を用いたキャパシタが100万回以上のデータ書き換えによって絶縁破壊する様子を電極越しに可視化することに成功した。◆レーザー励起光電子顕微鏡...

2023-10-25

0403電子応用