フェムト秒レーザー加工

フェムト秒レーザーGHzバーストモードアブレーション～単結晶シリコン基板のレーザー加工速度を23倍向上～

2023-04-11 理化学研究所理化学研究所（理研）光量子工学研究センター先端レーザー加工研究チームの杉岡幸次チームリーダー、小幡孝太郎研究員らの共同研究チームは、フェムト秒レーザー加工において、ギガヘルツ（GHz、1GHzは1...

2023-04-11

0110情報・精密機器