0110情報・精密機器 フェムト秒レーザーGHzバーストモードアブレーション～単結晶シリコン基板のレーザー加工速度を23倍向上～
2023-04-11 理化学研究所理化学研究所（理研）光量子工学研究センター 先端レーザー加工研究チームの杉岡 幸次 チームリーダー、小幡 孝太郎 研究員らの共同研究チームは、フェムト秒レーザー加工において、ギガヘルツ（GHz、1GHzは1...
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