フィルム型ひずみゲージ

ハードディスクの読み取りヘッドや固体磁気メモリーに利用されているスピントロニクスデバイスをフレキシブル基板上に形成し、ひずみや圧力などの力学情報を検出するセンサーとして広く利用されている、フィルム型のひずみゲージを作製しました。広く普及しているフィルム型の金属箔ひずみゲージに比べ、約５００倍ものひずみ検出感度を実現しました。