フィルム型ひずみゲージ

普及型の500倍 スピンで超高感度なひずみセンシングを実現 0402電気応用

普及型の500倍 スピンで超高感度なひずみセンシングを実現

ハードディスクの読み取りヘッドや固体磁気メモリーに利用されているスピントロニクスデバイスをフレキシブル基板上に形成し、ひずみや圧力などの力学情報を検出するセンサーとして広く利用されている、フィルム型のひずみゲージを作製しました。広く普及しているフィルム型の金属箔ひずみゲージに比べ、約500倍ものひずみ検出感度を実現しました。
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