ナノシート酸化物半導体トランジスタ

原子層堆積法を用いたナノシート酸化物半導体トランジスタを開発~半導体の高集積化・高機能化へ期待~ 0403電子応用

原子層堆積法を用いたナノシート酸化物半導体トランジスタを開発~半導体の高集積化・高機能化へ期待~

2023-06-09 東京大学 ○発表のポイント: ◆ナノシート状の酸化物半導体を用いて高性能・高信頼性なトランジスタを開発した。 ◆原子層堆積法により極めて薄い酸化物半導体の成膜方法を開発しデバイス集積した。 ◆半導体の高集積化とそれによ...
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