0107工場自動化及び産業機械 最先端構造トランジスタを試作可能な共用プロセスを独自開発~300 mmウエハーの共用パイロットラインで新規装置・材料の技術検証が可能に~
2025-11-05 産業技術総合研究所Web要約 の発言:産業技術総合研究所は、NEDO支援のもと東京エレクトロン、SCREENセミコンダクター、キヤノンと共同で、最先端ロジック半導体向けゲートオールアラウンド(GAA)構造トランジスタを...
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0403電子応用
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