チップレット集積

オーク製作所が高解像・高精度なダイレクト露光装置を開発しました～半導体後工程における微細な配線形成工程をマスクレス化で短縮し、高性能な先端半導体パッケージの製造コスト低減に貢献します～

2025-08-27 新エネルギー・産業技術総合開発機構,株式会社オーク製作所NEDOとオーク製作所は、省エネエレクトロニクスの製造基盤強化事業の一環として、半導体後工程向けの次世代ダイレクト露光装置を開発した。フォトマスクを用いず基板に直...

2025-08-27

0110情報・精密機器