0110情報・精密機器 次世代半導体製造向けの極微細穴あけ加工を実現~業種横断の協働拠点で先端半導体をけん引~ 2022-10-24 東京大学,味の素ファインテクノ株式会社,三菱電機株式会社,スペクトロニクス株式会社 次世代の半導体製造に資する10マイクロメートル以下を満たす、6マイクロメートル以下の穴あけを高品質かつ高生産性を維持し実現できることを... 2022-10-24 0110情報・精密機器
0107工場自動化及び産業機械 世界最高級出力の深紫外ピコ秒パルスレーザー発振器を開発 高出力化で電機や航空・宇宙分野の部品加工の高生産性と高品位性を実現2020-03-19 新エネルギー・産業技術総合開発機構,スペクトロニクス株式会社NEDOは高輝度・高効率次世代レーザー技術開発に取り組んでおり、今般、スペクトロニクス(株)... 2020-03-19 0107工場自動化及び産業機械0110情報・精密機器0705金属加工1700応用理学一般