シリコン膜の熱放射

2024-05-09 東京大学 ○発表のポイント： ◆高性能半導体デバイスなどの電子デバイスでは、局所的な発熱による性能や信頼性の低下が問題となっており、熱管理が課題になっています。 ◆シリコン膜の表面をわずかに酸化させることで、酸化膜界面...