シリコンプロセス触媒

炭素細線を用い貴金属を超える高性能シリコンプロセス触媒を開発～グラフェンナノリボンを微細加工技術に応用へ～

2024-07-30 京都大学近年、高アスペクト比シリコン加工技術がエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス分野で注目されています。特に積層型の3次元高集積技術（3D-LSI）の研究が進んでおり、縦方向のシリコン貫通電極作製が必要不可欠な...

2024-07-30

1700応用理学一般