アニール処理

半導体材料の圧力感度を大幅向上させる熱処理法を発見(Careful heating unlocks unprecedented sensitivity to pressure in semiconductor materials) 1700応用理学一般

半導体材料の圧力感度を大幅向上させる熱処理法を発見(Careful heating unlocks unprecedented sensitivity to pressure in semiconductor materials)

2025-05-15 ミシガン大学ミシガン大学の研究チームは、スカンジウム・アルミニウム・ナイトライド(ScAlN)という半導体材料に対し、700℃で2時間のアニール処理を施すことで、圧力に対する感度(圧電応答)を従来の8倍に向上させること...
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