圧電MEMSデバイス

OKIとKRYSTAL、超音波センサーの感度を20倍にする圧電単結晶薄膜接合技術を確立 0403電子応用

OKIとKRYSTAL、超音波センサーの感度を20倍にする圧電単結晶薄膜接合技術を確立

単結晶薄膜を接合したウエハーによる圧電MEMSデバイスの試作に成功 2022-08-17 沖電気工業株式会社,KRYSTAL株式会社 今回試作した圧電MEMS超音波 センサーアレイの顕微鏡写真 沖電気工業株式会社(本社:東京都港区、以下OK...
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